自日本也允许蚀刻气体出口给三星西安半导体厂之后，据ET News报导指出，传日本首次向三星电子(Samsung Electronics)华城厂出货EUV用光阻剂。

这二笔申请是日本对韩国实施审查后，首次有韩国业者的韩国或海外工厂获取日厂材料，同时，因审查制度启用后同时释出二个品项，审查时间也由既定的90日缩短到35日。韩国业界认为，日方可能是为了避免全球半导体供应链运行出现问题，业界乐观预测，未来可能不会实施追加措施。

三星西安厂与SK海力士(SK Hynix)无锡厂，分别是三星NAND Flash和SK海力士DRAM的海外半导体生产据点，日本7月初宣布对韩审查后，原本担忧中国大陆工厂的氟化氢等关键材料供给，会因为公司为韩国企业而受到影响。有了这次允许出口大陆前例，日后韩国企业在大陆工厂的材料供给应不会出现问题。

另外，三星也正从比利时供应商取得极紫外线光阻剂，以替代日本厂商，且已经采购6到10个月的库存，已应对日本对韩国出口的限制。

业内人士预计，日本对韩国的出口管制会延续，韩国企业为预防未来再发生一样的事情，正在积极推动各项自给自足的计划，以及寻求日本以外的供应商合作，同时韩国方面也在加强原材料等领域研发投入。